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              CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

                CIF推出全新一代CPC-G系列小型等離子體清洗設備,顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念,采用頂置真空倉,上開蓋下壓式鉸鏈開關方式,上置式360度自由取放樣品托盤設計,具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室使用。
              1. 詳細信息

                

              產品特點

              PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

              7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

              手動、自動兩種工作模式。

              數字流量計控制,控制更準確。

              符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

              頂置真空倉,上開蓋設計下壓式鉸鏈開關方式

              上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

              安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

              技術參數

              型號

              CPC-G

              CPC- G plus

              艙體尺寸

              H120xΦ270mm  

              H120xΦ270mm

              艙體容積

              6.8L

              6.8L

              射頻電源

              40KHz

              13.56MHz

              匹配器

              自動匹配

              自動匹配

              射頻功率

              10-300W可調

              10-150W可調

              氣體控制

              質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

              有效處理尺寸

              Φ270mm 圓盤

              產品尺寸

              L525xW425xH345mm

              包裝尺寸

              L645xW540xH560mm  

              時間設定

              1-99分59秒

              真空泵

              抽速4-8m3/h

              氣體穩定時間

              1分鐘

              真空度

              100pa以內

              AC220V 50-60Hz 

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